高精密加工的精密度级别介乎精密加工与超精密加工之间，高精度加工在定义上的一个特点是除了公差范围以外，也同时考虑零件尺寸大小和批量。加工大批量零件时保持5μm的公差，加工相互配合的两个零件时保持 2μm的公差，或用小直径的立铣刀在定位精度为0.3μ m的机床上进行加工等，都属于高精密加工的范畴。也就是说，零件尺寸和工件批量决定了某些特 定公差实现的难度。高精度机床的结构特点为了实现较高精度的切削运动，高精密加工机床的运动控制普遍采用较别的功能部件。在导轨和轴承方面，由于高精度加工需要实现高精度和平稳的定位运动，轨迹运动和微小距离运动，因此高精度加工机床采用静压丝杠和静压导轨较为常见。此外，高精密加工机床的电主轴也可采取动压或静承的方案，以同时实现支承和冷却功能，并提高主轴的刚度和阻尼性能。在位置控制方面，由于精密测量是控制高精度加工的前提，要保证机床的运动达到需要 的精度级别，其电子尺的测量精度须要高 1~2 个数量级。

 

  目前高精密加工一般采用分辨 率达 0.05~0.1μ m 的玻璃光栅。机床的加工精度，光洁度和刀具寿命与机床的刚性成正比，因此高精度加工机床尤其重视床身的设计和材料选择。其床身材料为球墨铸铁，经过有限元分析优化后，床身的静态刚度达120N/μ m，比一般数控机床高3倍，高频动态刚度比一般机床高2~3倍。采用三点支撑，并将刀库、电气柜、托盘交换装置等 周边系统与床身分离，此举除可以简化机床安装以外，还有提高机床稳定性、降低床身颤动的作用。提高机床刚性的另一种途径是使用人造花岗石材料浇注的床身。稳定的温度及震动阻尼基座 使 Pyramid Nano 机床可以加工出光洁度非常高的表面。此外，Armorith材料具有非常高的密度，2t重的机身仅占2.5m车间面积。

 

  高精密加工在机床工作期间，冷却液循环系统根据各个热源的发热量供应比室温低 2℃的冷却液。确保每各个循环回路都提供稍大于热源发热量的冷却量，以保持机床的热变形在允许范围之内。由于刀具在切削过程中的热变形无法*避免，机床的数控系统可以对刀具引起的Z轴误差作出补偿。zui后，必须指出的是，除了先进功能部件和技术以外，超精密机床的制造 也离不开传统工艺，例如，装配1台超精密机床需要高达数百小时的刮研工作量。